Gas Distribution
- 下流をほぼ絶対圧0mbarに保つ。
- 真空ポンプの到達真空度で決める。
真空度の数mbar悪化は、1000mbarに対し変動が小さく問題にならない。
- 真空ポンプは、材質、排気量、到達真空度、クリーンでらることなどから、
スクロールポンプがよいのでは。防爆については?。
- もちろん真空レギュレータで、他の圧力に設定してもよい。
真空レギュレータを使うと流量をこれでコントロール可能。
- 上流をほぼ大気圧に保つ。
- 差圧ゲージでフィードバックをかけ、混合ガスの総量をコントロール。
(CO2とn-pentanの両mass flow controllerの設定値を調節。)
- 他の方法としては、混合ガスの総量を多めにfixして、
上流のバッファーから下流の絶対圧~0mbarへバイパスを作り、
コントロールバルブを入れて、調節することも可能。
- この大気圧にコントロールするbufferよりTGCが高い場所にあれば、
TGCでの圧力は大気圧以上にはならず、TGCの60mmAq耐圧に対しても安全。
- 各ラインのコンダクタンスは、TGC下流のニードルバルブで決める。
オリフィスで、決め打ちでうまくいくならそれでも良い。
これで、各ラインの前後の差圧が決まり、コンダクタンスが精度良く揃い、
流量も揃い、安定する。(TGC個性によるコンダクタンスの差が無視できる。)
- saftyは上流の大気圧に保つbufferに設け、加圧、減圧両方に
対処できるようにする。
- 真空ポンプの出口辺りからpentanの液化が始まるはず。
配管径を広くし、液体トラップを設け、液化してもつまらないようにする。
- 下流のコンプレッサーはさらに下流のドライヤー(水分除去)を通すため。
排気量、クリーンであることなどからダイアフラムポンプが良いであろう。
ここでの液化は?。
E-mail:
nanjyo@icepp.s.u-tokyo.ac.jp
by Hajime NANJYO