Gas Distribution

これで、各ラインの前後の差圧が決まり、コンダクタンスが精度良く揃い、
流量も揃い、安定する。(TGC個性によるコンダクタンスの差が無視できる。)
E-mail: nanjyo@icepp.s.u-tokyo.ac.jp
by Hajime NANJYO